单一MO源对氨气的使用比例

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江苏爱姆欧光电材料有限公司

江苏爱姆欧光电材料有限公司成立于2010年8月，注册资本3000万元。专业化生产拥有自主知识产权的高纯金属有机化合物（MO源）产品，是国内能够实现MO源大型产业化的企业之一。产品质量达到国际先进水平，为我国太阳能光伏产业、LED照明和极大规模集成电路产业的发展提供关键支撑材料。公司位于镇江新区绿色化工新材料产业园，占地面积55亩，厂内拥有{yx}的管理团队、先进的研发技术、{yl}生产设备，完善的检测手段以及严格的质量管理体系。江苏爱姆欧光电材料有限公司是专业从事各类高纯金属有机化合物产品（MO源）的技术研发、生产和销售。产品广泛应用于薄膜太阳能电池、光电材料以及微电子材料领域。主要的20余种产品的纯度在99.999－99.9999%之间，可以满足不同用户的需要。欢迎国内外新老客户洽谈、采购，公司将提供{zy}质的产品和服务。

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MO源未来的发展。针对刚才三个不足之处，特别对于水氧的敏感，如何降低对水和氧的敏感。因为周围三个甲基，周围只有六个电子，有接触电子的能力，这个性质不是非常稳定。因为在元素周围要达到八个电子是比较稳定的。采用一些孤电子，像胺、膦。这个表当中列出来的，比如说像这样的MO源，通过有孤类电子的膦，降低它的活性。

二是降低碳沾污，将三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝等分子中的甲基替换成异丙基或叔丁基。

三是改进固体三甲基铟源蒸气压的措施。改变封装容器的结构，配置成溶液铟源。制备业态铟源。

四是采用单一的MO源。现在大家也知道我们的MOCVD是用三甲基镓和氨气进行反应，现在氨气用量是非常大的，这么大量的消耗，而MO的消耗通常只有3公斤这样的水平已经是比较多了，而氨气，在3公斤MO的情况下面需要1.5吨，所以这两个比例是非常不协调的。将来可能采用单一的MO源，就是在一个MO当中，就是不需要使用那么多氨气的消化。

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