超纯水电导率≤0.055μS/cm@25℃;电阻率:18.25ΜΩ·cm@25℃
微粒子(大于0.01μm)含量:﹤1/ml 热源<0.001u/ml
微生物<1cfu/ml, 总有机碳量TOC:≤1 ppb
RNases<0.01ng/ml
DNases<4pg/ml
金属阳离子含量:(单位ppb):
Fe铁<0.002 cu铜<0.002 Al铝<0.002 Ni镍<0.002
Zn锌<0.01 Cr铬<0.002 Na钠<0.01 K钾<0.01
阴离子含量:(单位ppb):
Clˉ氯<0.01 No2ˉ亚硝酸根<0.01
NO3ˉ硝酸根<0.01 SO4ˉ硫酸根<0.01
达到标准:中国分析实验室用水规格(GB/T6682-2000)一级水标准
美国试药级(CAP、ASTD、NCCLS)超纯水水质标准
中国国家电子级超纯水规格(GB/T11446.1-1997)EW-I标准
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