液体氮化也称软氮化，低温氰化，或者氮碳共渗，在渗氮过程中，碳原子也参与，因而比一般的单一气体渗氮具有更高的渗速，在渗层表面硬度相当的情况下，氮化层的脆性也比气体氮化小，软氮化因此得名。老的液体氮化法主要原料是氰化钠，所以也有叫低温氰化的，硬化层中的氮比碳的浓度高，因而氮碳共渗的称法又被广泛采用在氮化的过程中，当活性较大时，表面生成很薄的化合物层（10～30μm的ε相），随后便是γ`和扩散层。当活性较小时，表面化合物相可以不出现，从而获得得以弥散硬化为主的组织由于采用低温md原料的工艺，工件不发生奥氏体→马氏体的相变，不存在由于较大的组织应力而引起的工件的变形在520～600℃温度下产生的硬化相具有较高的热硬性，故经过氮化处理以后的部件，比较适用于在较高的温度下工作，如铝合金压铸模，型材挤压模，注塑机螺杆，顶针，排气阀杆等
此工艺可以被广泛用于五金件，轻负荷高速制件，铸铁件，热处理代青铜件等，其投资少，周期短，质量好，成本低，消耗小，基本上md、无污染，具有很好的经济效益对于含Cr、Mo、Al、V、Ti等合金钢的制件，氮化后产生弥散的高硬度的氮化物，所以能提高H13、Cr12MoV、38CrMoAlA等模具钢与制件的表面硬度和强度已经开始批量使用此工艺的零部件有：
发动机的凸轮轴，曲轴，挺杆，活塞环，离合器片，刹车片等
机械部件:轻负荷高速齿轮，高速缝纫机传动件，打印头部件，铸铁制轴套、滑块，注塑机螺杆，顶针等
工模具：H13铝锌合金压铸模，普通结构钢和38CrMoAl注塑模、高速钢或Cr12MoV深拉伸模，H13铝型材挤压模
材料与热处理后的强化关系如下：
一般表面强化：表面硬度Hv0.05 400～600（相当于HRC42～55),则可选用A3、B3、B2F、10、20、35、45等，低中碳结构钢。
中等表面强化：表面硬度Hv0.05 600～850（相当于HRC55～64),则可选用20CrMo、20CrMnTi、35CrMo等。
高硬度表面强化：表面硬度Hv0.05 850～1000（相当于HRC63～69),则可选用38CrMoAl、1Cr18Ni9Ti、3Cr2W8V、W18Cr4V、H13、Cr12MoV等。
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