青岛福盟微电子设备有限公司隧道炉-质量{dy}、服务至上

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青岛福盟微电子设备有限公司热处理炉

青岛福盟微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。目前主要产品有半导体专用设备：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。“以人为本，欲做生意，先学做人”的立厂之根，和“以客户至上，质量{dy}，服务无止境”的立厂之本，坚持产品设计和服务质量的持续发展。福盟全体员工热忱欢迎国内外广大新老客户来我公司洽谈业务，共图发展。

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设备用途: 用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。链（带）式烧结炉特点本设备为气氛保护炉，保护气氛为氢气、氮气、氩气等。设备具有连续工作性，保证生产效率。独特的气幕帘结合，确保炉膛与空气隔绝。多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。链带速度无级连续可调。根据用户要求可配加湿器链(带)式烧结炉主要技术指标带宽 90～350mm 炉膛高度 100～200mm 炉膛宽度 100～370mm 冷却段长 1000～6000mm 温度范围 300～1050℃ 等温区长 600～1500mm 控制精度 ±2℃ 控制段数 4～10段带速 20～500mm/min 升温时间 90～240min 升温功率 20～120KVA 保护气体 3～5路氮气0～100L/min 1路氢气0～80L/min

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