青岛福盟微电子半导体行业真空炉-高性能F

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青岛福盟微电子设备有限公司热处理炉

青岛福盟微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。目前主要产品有半导体专用设备：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。“以人为本，欲做生意，先学做人”的立厂之根，和“以客户至上，质量{dy}，服务无止境”的立厂之本，坚持产品设计和服务质量的持续发展。福盟全体员工热忱欢迎国内外广大新老客户来我公司洽谈业务，共图发展。

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从结构上分为卧式、立式、箱式，从真空度上分为低真空、高真空，从使用温度上分为低温、高温，从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管，从真空获得上分机械泵、机械泵＋扩散泵、机械泵＋分子泵。设备用途：广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。主要技术指标： ★工位：单、双、三工位 ★工作温度： 300～1100℃（不锈钢真空室{zg}1000℃） ★真空度：优于5×10-3 Pa ★真空室直径：Φ150～300 mm ★恒温区长度：400～1000 mm ★控制精度： ±1.0～3.0℃ ★炉体移动速度：0～400 mm/min ★{zd0}充气压力：0.5 MPa （不锈钢真空室） ★加热功率： 10～80 KVA ★控制系统：进口仪表＋PLC＋触摸屏 ★安全连锁保护：超温、断偶、缺水、压力异常保护报警

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