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青岛福盟微电子半导体行业真空炉-高性能F
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青岛福盟微电子半导体行业真空炉-高性能F

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颜廷福(市场部经理)
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0532-87700793
李沧区湘潭路89号
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青岛福盟微电子设备有限公司管式炉

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从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热 不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。 设备用途:广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。 主要技术指标: ★工位: 单、双、三工位 ★工作温度: 300~1100℃(不锈钢真空室{zg}1000℃) ★真空度: 优于5×10-3 Pa ★真空室直径:Φ150~300 mm ★恒温区长度:400~1000 mm ★控制精度: ±1.0~3.0℃ ★炉体移动速度:0~400 mm/min ★{zd0}充气压力:0.5 MPa (不锈钢真空室) ★加热功率: 10~80 KVA ★控制系统: 进口仪表+PLC+触摸屏 ★安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警
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