供应便携式半导体材料气体检测仪,有毒气体检测仪{sx}亚兴泰
只要更换传感器单元就可以检测对象气体
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
大幅度削减成本和维护时间
检测原理:定电位电解式
检测气体对象:半导体材料气体
半导体材料气体检测仪指示范围:根据规格
分辨率:实现满量程的百分之一
供应便携式半导体材料气体检测仪,有毒气体检测仪{sx}亚兴泰
半导体材料气体检测仪指示精度:FS±10%以内
半导体材料气体检测仪报警模式:2段报警方式
报警方式:蜂鸣器(间歇音)、报警灯闪烁
应答时间:60秒以内(60%应答)
电源:5号碱性干电池4节或AC专用变压器
电池使用时间:连续12小时以上
外型尺寸:W762×H150×D128(除去突起物)
检测方式:泵吸式
使用温度范围:0℃~40℃
重量:约1.3kg
附件:肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张
选购件:AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件
气体: 范围 气体 范围
NH3 100ppm GeH4 1ppm
SiH4 25ppm CL2 5ppm
SiH2CL2 25ppm CLF3 1ppm
AsH3 250ppm HCL 25ppm
PH3 1ppm HF 10ppm
B2H6 500ppm HBr 10ppm
H2Se 250ppm NO 100ppm
H2S 50ppm CO 250ppm
Si2H6 25ppm F2 5ppm
O3 1ppm
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