供应:(UV石英片、石英片厂家、供应石英片) 定做石英片 定做畸形石英片; 厂家定做了,价格便宜了 。 tel :021-63510495-807 复合涂层石英玻璃
复合涂层石英玻璃有高纯涂层石英玻璃和抗高温形变石英玻璃两种,它以气炼透明石英玻璃管为基体管,采用高纯涂层工艺及特殊处理方法制作而成。这类玻璃适用于大规模集成电路和电子工业的氧化、扩散等。
一、产品
石英玻璃厂生产的复合涂层石英玻璃制品,是在一般气炼透明石英玻璃制品的表面涂复一层特殊材料而制成的复合材料,它纯度高,抗高温形变性能好,对钠离子有一定阻挡作用。其涂层厚度为5~10微米。石英玻璃厂和建材科研院于1981~1985年先后完成高纯抗高温形变石英玻璃、大规模集成电路用高纯涂层石英玻璃科研项目,并试制出FQ—001、FQ—201和FQ—211等3个牌号的复合石英玻璃管新产品,年产量达2000公斤。这些产品解决了电子工业对石英玻璃管所要求的高纯、耐高温、长期不变形的问题。FQ—201、FQ—211两种抗高温形变石英玻璃管使用温度均可达到1280C,其耐高温性能比国产普通气炼石英玻璃管增高100℃,使用寿命提高1倍以上,高温形变性能达到当时lb德国赫劳斯公司和日本信越公司的同类产品水平。FQ—201抗析晶性好,可在高温下反复使用,FQ—211适用于连续高温使用。这些产品经机械工业部西安整流器研究所、科学院109厂、北京半导体研究所、北京整流器厂等单位的引进生产线和国内生产线使用,效果良好,已批量生产。1985年高纯抗高温形变石英玻璃获上海市科技进步三等奖、国家技术进步二等奖。
石英玻璃厂气炼石英玻璃坩埚原来用tr水晶料,成本高,质量不稳定,坩埚纯度不高。1973年采用高纯四氯化硅为涂层原料,制造出内层具有99.9999%以上纯度的复合高纯涂层石英玻璃坩埚。该产品经上海冶炼厂、北京有色金属研究院等单位应用,质量符合要求。制造高纯涂层坩埚,当合格率为90%时,可比不涂层坩埚成本下降13%,为四氯化硅料的综合利用开辟一条新途径。该产品1981年9月获上海市优质产品证书,1981年10月获国家建材局部级优质产品证书,1983年获国家银质奖。该厂复合涂层石英坩埚从1982~1990年累计产量39004只。
二、生产工艺
复合高纯涂层石英玻璃采用低品位水晶块料,加工成粉子,经纯化处理后,变低品位水晶料为优质水晶料(高纯二氧化硅),再气炼成透明石英玻璃制品,以此为基体,用高纯四氯化硅经载体氧喷涂在该基体内壁上,制成复合高纯涂层石