典型工艺流程
(水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
· 预处理-反渗透- 水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线sj器-精制混床-精密过滤器-用水对象
· 预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线sj器-0.2或0.5µm精密过滤器-用水对象
· 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线sj器-0.2或0.5µm精密过滤器-用水对象
· 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线sj器-精制混床-0.2或0.5µm精密过滤器-用水对象
应用场合
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
· 超纯材料和超纯化学试剂;
· 实验室和中试车间
· 汽车、家电表面抛光处理;
· 其他高科技精微产品.
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